通过采用具有优秀旋转精度的精密控制用减速机Harmonic Drive和超精密螺丝,实现高分辨率精 密测定,可用于检测设备、光学器械、半导体 • 液晶制造设备等需要进行微米级或亚微米级定位的 场合。
※1 表示输出轴引出后的状态。